เพื่อให้การจัดเก็บค่าบริการวิเคราะห์ด้วยเทคนิค Field Emission Scanning Electron Microscope และ EDS ของห้องปฏิบัติการ FE-SEM ศูนย์ความเป็นเลิศด้านฟิสิกส์ เป็นไปด้วยความเรียบร้อย เหมาะสมกับสภาพเศรษฐกิจในปัจจุบัน และตามมติคณะกรรมการอำนวยการศูนย์ความเป็นเลิศด้านฟิสิกส์ ในการประชุมครั้งที่ 3/2566 เมื่อวันที่ 27 กันยายน 2566 เห็นสมควรให้กำหนดอัตราค่าบริการวิเคราะห์ด้วยเทคนิค FE-SEM และ EDS พ.ศ. 2566 รายละเอียดตามเอกสารแนบท้ายประกาศฉบับนี้ ทั้งนี้ ตั้งแต่วันที่ 14 ธันวาคม พ.ศ. 2566 ประกาศ ณ วันที่ 19 มกราคม พ.ศ. 2567
เอกสารแนบท้ายประกาศ
เรื่อง อัตราค่าบริการวิเคราะห์ด้วยเทคนิค FE-SEM และ EDS
| อัตราค่าบริการ | ราคา (บาท) |
| FESEM (ถ่ายภาพในโหมด SEI, BEI และ TEI) (ชั่วโมงละ) | 1,800 |
| EDS ใช้ร่วมกับ FESEM (ชั่วโมงละ)* | รอดำเนินการ* |
| EDS วิเคราะห์เชิงคุณภาพ (ต่อการวิเคราะห์)* | รอดำเนินการ* |
| EDS วิเคราะห์เชิงปริมาณ (ต่อการวิเคราะห์)* | รอดำเนินการ* |
| EDS วิเคราะห์โดย mapping/line-scan* | รอดำเนินการ* |
| EBSD ใช้ร่วมกับ FESEM (ชั่วโมงละ) | 1,800 |
| EBSD วิเคราะห์โดย mapping | 600 |
| E-Beam Lithography ใช้ร่วมกับ FESEM (ชั่วโมงละ) | 1,800 |
| E-Beam Lithography ค่าบริการออกแบบลวดลาย | 2,000 |
| E-Beam Lithography ค่าบริการแปลงไฟล์ลวดลาย | 500 |
| E-Beam Lithography ค่าบริการเตรียมและสปิน e-beam resist | 600 |
| E-Beam Lithography ค่าบริการเตรียมและทำ e-beam develop | 600 |
| Ion-milling ใช้ร่วมกับ FESEM เพื่อเตรียมชิ้นงานและถ่ายภาพ cross-section (ชั่วโมงละ) | 1,800 |
| Ion-milling ค่าบริการขึ้นรูปยึดตัวอย่างเข้ากับที่ยึด | 1,000 |
| Ion-milling ค่าบริการตัดชิ้นงานด้วย diamond saw | 200 |
| Au Sputter Coater ค่าบริการฉาบทองบนผิวตัวอย่าง | 400 |
หมายเหตุ * EDS อยู่ระหว่างการจัดซื้อ
เงื่อนไขการรับส่วนลดค่าบริการ
ผู้ใช้บริการสามารถขอรับส่วนลดค่าบริการร้อยละ 20 จากอัตราค่าบริการตามตารางแนบท้ายประกาศสำหรับหน่วยงานรัฐ โดยมีเงื่อนไขดังนี้
1. ภายหลังจากการใช้บริการ ผู้ใช้บริการมีการระบุถึงศูนย์ความเป็นเลิศด้านฟิสิกส์ (Acknowledgement) ลงในผลงานตีพิมพ์หรือเอกสารงานวิจัยต่าง ๆ ดังข้อความต่อไปนี้ “The FESEM measurement was conducted at Thailand Center of Excellence in Physics”
2. ผู้ใช้บริการแสดงหลักฐานตามข้อ 1 ประกอบการขอรับส่วนลดค่าบริการในการใช้บริการครั้งถัดไปได้ไม่เกิน 1 ครั้ง
