เครื่องวิเคราะห์ผิววัสดุ XPS

ข้อควรทราบในการขอใช้บริการวิเคราะห์ด้วยเทคนิค XPS

การจัดเตรียมตัวอย่าง (sample) ที่จะส่งไปวิเคราะห์

• ตัวอย่างจำเป็นต้องห่อหุ้มด้วยอลูมิเนียมฟอยล์ ให้มิดชิดเป็นชั้นแรกสุด ก่อนจะนำไปใส่ลงในบรรจุภัณฑ์ต่างๆ เพื่อส่งให้กับห้องวิเคราะห์ XPS ที่เชียงใหม่
• ตัวอย่างที่ถูกเคลือบผิวด้วยฟิล์มบาง จำเป็นที่จะต้องไม่ให้ผิวหน้าของตัวอย่างสัมผัสกับวัสดุใดๆ จึงควรบรรจุด้วยการติดตัวอย่างลงบนเทปกาวสองหน้า (แบบบาง สามารถแกะตัวอย่างออกได้ง่าย) ไว้ภายในกล่องที่มีฝาปิดมิดชิด จากนั้นจึงจะห่อด้วยซองกันกระแทกต่อไป
• ตัวอย่างควรมีขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางไม่น้อยกว่า 2 มิลลิเมตร แต่ไม่ใหญ่เกินกว่า 2 เซ็นติเมตร และมีความหนาไม่เกิน 2 มิลลิเมตร
• ตัวอย่างที่เป็นผง ควรจะต้องทำการอัดเม็ดให้เรียบร้อยมาก่อน โดยมีขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางไม่เกิน 1 เซ็นติเมตร โดยประมาณ และจะต้องอัดให้บางที่สุดเท่าที่จะทำได้(หนาได้ไม่เกิน 2 มิลลิเมตร) ซึ่งจะต้องทำการอัดให้แน่นโดยไม่ใช้สารผสมใดๆ เมื่ออัดเม็ดแล้วจะต้องไม่แตก, หัก, กร่อน หรือหลุดร่อนเป็นผงอีก
• ในกรณีที่ตัวอย่างมีความชื้น จะต้องนำไปอบให้แห้งแล้วจึงห่อด้วยอลูมิเนียมฟอล์ย จากนั้นจึงจะบรรจุลงในซองพลาสติก (ควรใส่ซองสองชั้นโดยชั้นที่สองให้บรรจุสารกันความชื้น เช่น เม็ดซิลิกาเจล ลงไปด้วย)
• ตัวอย่างที่เป็นรูพรุนมาก ลักษณะคล้ายฟองน้ำหรือตัวอย่างที่เป็นเส้นใย สามารถเตรียมมาได้ตามปกติ แต่ไม่แนะนำให้วิเคราะห์ด้วยเทคนิค XPS เนื่องจากผลการวิเคราะห์จะเกิดความคลาดเคลื่อนได้ อันเป็นผลมาจาก Surface Roughness Effect โดยที่ Photoelectron อาจจะเกิดการกระเจิงและเข้าไปที่หัววัดได้ไม่มากพอ(สอบถามข้อมูลเพิ่มเติมได้ที่ ห้องวิเคราะห์ XPS)

ตัวอย่างที่ไม่สามารถรับวิเคราะห์ให้ได้

• ตัวอย่างที่ทำการชุบ, อาบ, จุ่ม, อบ, ทา, เคลือบ, wax หรือพ่นด้วยน้ำมันหอมระเหย, น้ำมัน และสารระเหยต่างๆ
• ตัวอย่างเป็นของเหลว, ของหนืด หรือตัวอย่างที่มีความชื้นสูงมาก
• ตัวอย่างผงอัดเม็ดที่ร่วนและแตกง่าย
• ตัวอย่างที่มีขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางเล็กกว่า 1 มิลลิเมตร หรือมีขนาดใหญ่กว่า 2 เซ็นติเมตร และมีความหนาเกิน 2 มิลลิเมตร

เรื่องอื่นๆที่ควรทราบในการขอรับบริการด้วยเทคนิค XPS

• ที่ห้องวิเคราะห์ XPS ตัวอย่างทุกชนิดจำเป็นที่จะต้องติดลงบนเทปกาวคาร์บอน ดังนั้นตัวอย่างด้านที่ถูกติดบนเทปกาวจะเกิดความเสียหายเมื่อแกะออก
• ในการทำ Etching และ Depth profiling จะต้องใช้เวลาในการวิเคราะห์นานกว่าปกติ อาจมากกว่า 3 ชั่วโมง/ตัวอย่าง และจะไม่สามารถทำ Etching และ Depth profiling ได้ ถ้าฟิล์มมีความแข็งมาก (พบมากในตัวอย่างที่มีความหนาแน่นสูง) โดยตัวอย่างที่นำมาวิเคราะห์ ควรเป็นตัวอย่างที่ถูกทิ้งไว้ไม่นานเกินกว่า 1 อาทิตย์ เพื่อลดการเกิดปัญหาปนเปื้อนบนผิว จากการเกิดออกไซด์ หรือ การปนเปื้อนคาร์บอน
• เนื่องจากภายในระบบวิเคราะห์ XPS จะต้องอยู่ในสภาพสุญญากาศระดับ Ultra High Vacuum ทางห้องวิเคราะห์ จำเป็นต้องหยุดให้บริการกับชิ้นตัวอย่างนั้นๆทันที ในกรณีที่อาจเกิดความเสี่ยงขึ้นกับตัวเครื่อง XPS เช่น ตัวอย่างร่วน / หลุดร่อน, มีความชื้นสูงมาก และ / หรือมีการปนเปื้อนบนผิวมากเกินไป ฯลฯ
• เทคนิค XPS สามารถวิเคราะห์ผิววัสดุได้ในระดับความลึกสูงสุดที่ 10 นาโนเมตรเท่านั้น ทั้งนี้เพราะ Photoelectron ในระดับลึกกว่า 10 นาโนเมตร จะเดินทางออกมาไม่ได้ เนื่องจากการสูญเสียพลังงานระหว่างทางขาออก
• X-ray spot size ไม่สามารถปรับเปลี่ยนได้ ซึ่งจะถูกตั้งค่าให้อยู่ที่ 700 x 300 ไมโครเมตร ซึ่งจะอาศัยการปรับที่ชุด Electron Focusing Unit เพื่อลดปริมาณของอิเล็กตรอนลงและเพิ่ม Sensitivity แทน
• ทางห้องวิเคราะห์ไม่รับเตรียมตัวอย่างทุกชนิด
• เวลาที่ใช้ในการวิเคราะห์ ไม่มีตัวเลขที่ตายตัว แต่ค่าบริการรวมทั้งหมดจะแปรผันตรงกับ (ก) เวลาในการทำสุญญากาศ และ (ข) จำนวนธาตุที่ต้องการวิเคราะห์ (เช่น C, N, O, F, Sn ฯลฯ)
• ข้อมูลการวิเคราะห์ของผู้ขอรับบริการแต่ละรายจะถูกเก็บรักษาไว้เป็นเวลา 1 ปี นับตั้งแต่วันที่ได้รับบริการ หลังจากนั้นจะทำการลบทิ้งทั้งหมด